国产高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速

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新华社北京6月28日电(记者胡哲)记者6月28日从中国电子科技集团有限公司获悉，该集团电气设备自主研发的高能离子注入机已成功实现百万电子伏的高能离子加速，其性能已达到国际先进水平。

据报道，离子注入机是芯片制造中的关键设备。在芯片制造过程中，需要掺杂不同种类的元素，以预定的方式改变材料的电特性。这些元素以带电离子的形式被加速到预定的能量，并被注入特定的半导体材料中。离子注入机是执行这种掺杂过程的芯片制造设备。

高能离子注入机是技术上最困难的离子注入机。长期以来，由于其研发难度大、行业竞争壁垒高，在离子注入机领域被称为“珠穆朗玛峰”，是中国集成电路制造设备产业链中需要攻克的关键环节。

电气设备在离子注入机领域有很好的技术积累，不断突破中束、大束、特殊应用和第三代半导体等离子注入机产品的研发和产业化问题，产品广泛应用于世界知名的芯片制造企业。

电子设备离子注入机总监张聪表示，第一台高能离子注入机将于今年年底推出，实现中国芯片制造领域全系列离子注入机的自主创新和发展，为全球芯片制造企业提供完整的离子注入机解决方案。

来源：搜狐微门户