欣奕华国产OLED蒸镀机让显示产业上游核心设备实现“自发光”

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近日，用于微oled和oled照明大批量生产的新怡化g2蒸发设备样机宣布已完成进一步调试工作，将于今年投放市场，填补国内小型oled蒸发设备空白的市场空白。

Oled蒸发机是oled面板生产的核心设备之一，它与华为p40、oppo find x2、One Plus和三星galaxy quantum有着密切的关系。智言咨询发布的《2020-2026年中国oled面板行业市场专项调查及投资前景分析报告》显示，2020年oled市场规模将达到343亿美元，单位出货量增长率将在2020年达到峰值。在oled技术在手机市场全面爆发的背后，oled蒸发机——生产OLED面板的关键设备——长期被日本和韩国企业垄断。如何克服上游核心设备的缺乏是困扰中国显示器行业发展的一个痛点。

Oled在生产过程之前、期间和之后需要三个过程。其中，相应的三项核心技术是ltps驱动电路、oled蒸发工艺和薄膜封装工艺，而oled蒸发是制约oled面板成品率的关键，从而影响生产率。根据CCID智库2019年10月汇编的公开数据，到2018年，oled蒸发设备的主要制造商是日本佳能东京，市场份额为90%。据报道，佳能Tok ki 90%的年生产能力已被三星所接管，而oled蒸发设备难以获得已成为制约国内面板制造商扩大oled生产能力的一个重要原因。

过去，三星和lg显示器的额外生产线导致oled蒸发设备几乎被买断。近年来，随着韩国企业对oled生产线的投资放缓，BOE、Visionox、申天玛、新立等面板制造商相继购买oled蒸发设备，产量逐步提高。截至2018年底，BOE成6代线综合产出率达到70%；2019年11月，远景昆山5.5代线综合产量达到90%。据估计，到2021年，国内面板制造商生产的刚性和柔性oled面板将与三星的产出率基本持平。由此可见，oled蒸发机是制约行业发展的瓶颈。

在这种背景下，新一华自主研发的国产oled蒸发设备应运而生。“虽然中国已经成为世界上oled面板生产的主要地区之一，但上游设备公司仍集中在设备领域低端和非关键设备的制造阶段。”新一华智能机械集团总经理李庆生表示:“中国已经建成了许多oled生产线，但包括oled蒸发设备在内的设备基本上依赖进口。辛玉华希望抓住机遇，帮助客户，为中国的显示器行业做出一些贡献。”

事实上，征服核心技术并不容易。如果有机发光二极管蒸发机是有机发光二极管面板制造过程的核心，那么有机发光二极管蒸发源就相当于心脏的心房。Oled蒸发源根据不同的宏观形状可以大致分为点蒸发源和线蒸发源。为了满足厚度均匀性，点蒸发源材料的利用率不高，有些材料在蒸发过程中容易散射或飞溅；由于坩埚加热和传输过程中不同位置的热量和温度不同，线性蒸发源不同位置的有机气体分子的热动能不一致，使得不同位置喷嘴喷出的有机分子的蒸发速率不同，导致涂层厚度均匀性差；更不用说当涂覆玻璃基板的每个子像素时，为了涂覆位置的准确性，基板必须在每个过程开始之前精确对准，这也是整个oled面板产量不足的关键...所有这些问题都必须由新一华oled蒸发设备R&D项目组来解决。

“核心技术必须掌握在我们手中，”新沂华智能机器事业部oled业务负责人曹景波表示。“我们努力的目的是解决oled蒸发设备研发中的问题。”经过无数日日夜夜的研究、探索和实践，新一华R&D团队终于形成了一个完善的oled技术研发体系，突破了oled蒸发源、oled对准系统等诸多关键核心技术。其自主研发的oled点式和线型蒸发源已通过客户验证，并成功导入面板龙头企业的生产线。

据了解，佳能tokki oled蒸发机的精度是提到最多的。通过在衬底上精确蒸发oled有机发光材料，Canon tokki可以将误差控制在3um以内。对此，曹景波自豪地说:“新华华oled蒸发机对准系统(包括g6h、g2.5和g1)的对准精度已经达到国际先进水平，有些机型甚至达到了国际领先水平，对准精度是可以控制的。在1.5微米以内。”

据悉，新沂华于2015年正式启动oled蒸发系统关键技术研发项目。公司建有3万平方米的oled蒸发机开发洁净厂房，拥有20多套先进的R&D设备和仪器，并建立了一支国际高端人才队伍，形成了完善的oled技术研发体系。蒸发源、真空腔、高精度对准、封装，

目前，新一华自主研发了国内第一台g1 oled蒸发机(玻璃基板尺寸200*200mm)，已通过安徽省新产品鉴定。“本产品可根据客户要求选择精确对准或机械对准，对应oled器件研发和材料验证。我们的g1 oled蒸发机通过了上海某大学教育部国家重点实验室的设备测试，并于2017年投入使用。此外，浙江和上海两家oled材料公司在购买了我们的g1 oled蒸发机后，也给予了高度评价。”曹景波说道。据悉，新一华也是中国第一家开发g2.5(玻璃尺寸370mmx470mm)集束蒸发机和12英寸ar/vr(晶圆直径300mm)蒸发机的企业，进一步填补了中国自主开发生产的这类oled蒸发机的空空白。

得益于国家层面的高度重视和oled行业的标准化指导，鑫亿华在R&D OLED蒸发设备的生产和市场化进程中发展迅速。特别是“十二五”国家战略性新兴产业发展规划明确提出“加快oled等新一代显示技术的研发和产业化”，一系列相关政策相继出台，鼓励和支持oled设备、工艺和材料的创新发展。未来，新一华将继续扎根泛半导体行业高端设备制造领域，为中国oled面板制造商提供国内高性能蒸发系统，努力提高中国显示行业上游核心设备的技术水平。

来源：搜狐微门户